硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
行业标准《硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法》，主管部门为工业和信息化部。
目录
1标准状态
- 发布于2016-09-01
- 执行于2016-04-05
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- YS/T 23-2016
- 发布日期
- 2016-04-05
- 实施日期
- 2016-09-01
- 全部代替标准
- YS/T 23-1992
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
3备案信息
备案号：54464-2016。
备案公告： 2016年第6号 。
4相近标准（计划）
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法- GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
- GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
- YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
- GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
- 20162492-T-469 硅外延片
- GB/T 14139-2009 硅外延片
- GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
- SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针方法
- GB/T 35310-2017 200mm硅外延片
