硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
行业标准《硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有研新材料股份有限公司 、上海晶盟硅材料有限公司 。
主要起草人 马林宝 、杨帆 、葛华等 。
目录
1标准状态
- 发布于2015-10-01
- 执行于2015-04-30
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- YS/T 15-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 全部代替标准
- YS/T 15-1991
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.
- 归口单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
3备案信息
备案号：50404-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
4适用范围
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。
5起草单位
6起草人
7相近标准（计划）
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