异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
行业标准《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有研新材料股份有限公司 、上海晶盟硅材料有限公司 。
主要起草人 马林宝 、杨帆 、葛华等 。
目录
1标准状态
- 发布于2015-10-01
- 执行于2015-04-30
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- YS/T 14-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 全部代替标准
- YS/T 14-1991
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.
- 归口单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
3备案信息
备案号：50403-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
4适用范围
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
5起草单位
6起草人
7相近标准（计划）
GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法- GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
- YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
- YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
- 20140807-T-604 柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法
- GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
- JB/T 8270-1999 静电复印光导体膜层厚度 测量方法
- SY/T 0066-1999 钢管防腐层厚度的无损测量方法（磁性法）
- GB/T 11374-2012 热喷涂涂层厚度的无损测量方法
- GB/T 6463-2005 金属和其它无机覆盖层厚度测量方法评述
