200mm硅外延片
200mm silicon epitaxial wafer
国家标准《200mm硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院 。
主要起草人 马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。
目录
1标准状态
- 发布于2017-12-29
- 执行于2018-07-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 35310-2017
- 发布日期
- 2017-12-29
- 实施日期
- 2018-07-01
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
DB34/T 2273-2014 Φ160mm～Φ200mm锻造钢球- 20162492-T-469 硅外延片
- GB/T 14139-2009 硅外延片
- GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
- JB/T 6596-1993 滚齿机 精度(最大工件直径小于200mm)
- GB/T 20149-2006 道路交通信号灯 200mm圆形信号灯的光度特性
- GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
- GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
- SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针方法
- YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
