Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 北京有色金属研究总院 。
主要起草人 王彤涵 。
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
20140807-T-604 柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法
JB/T 8270-1999 静电复印光导体膜层厚度 测量方法
SY/T 0066-1999 钢管防腐层厚度的无损测量方法(磁性法)
GB/T 11374-2012 热喷涂涂层厚度的无损测量方法
GB/T 6463-2005 金属和其它无机覆盖层厚度测量方法评述