Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 北京有色金属研究总院 。
主要起草人 王彤涵 。
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