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微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

国家标准 推荐性 现行

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心 、西安交通大学 、天津大学 、中原工学院 。

主要起草人 丁红宇 、张苹 、刘伟 、蒋庄德 、景蔚萱等 。

目录

1标准状态

  • 发布于2011-01-10
  • 执行于2011-10-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 26113-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

丁红宇 张苹 景蔚萱 刘伟 蒋庄德

5相近标准（计划）

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