登录道客巴巴

微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element

国家标准 推荐性 现行

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京遥测技术研究所中机生产力促进中心

主要起草人 李庆丰金小锋李海斌朱悦程红兵

目录

关注我们

关注微信公众号