微机电系统（MEMS）技术 薄膜张力特性条带弯曲试验方法
The reliability test methods of MEMS in integrated environments
国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 薄膜张力特性条带弯曲试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中机生产力促进中心 。
目录
1项目进度
- 网上公示
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20171124-T-469
- 制修订
- 制订
- 项目周期
- 24个月
- 下达日期
- 2017-07-21
- 国际标准分类号
- 31.080.99
- 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4相近标准（计划）
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