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微机电系统（MEMS）技术 采用MEMS谐振结构检测薄膜材料弯曲疲劳特性的方法

The reliability test methods of MEMS in integrated environments

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 采用MEMS谐振结构检测薄膜材料弯曲疲劳特性的方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心 。

目录

1项目进度

  • 网上公示
  • 起草
  • 征求意见
  • 审查
  • 批准
  • 发布

2基础信息

计划号
20171123-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2017-07-21
国际标准分类号
31.080.99
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4相近标准（计划）

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