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微机电系统(MEMS)技术 可靠性综合环境测试方法

The reliability test methods of MEMS in integrated environments

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 可靠性综合环境测试方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心

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