俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、中国电子技术标准化研究院 、苏州晶瑞化学有限公司 、天津中环领先材料技术有限公司 。
主要起草人 李雨辰 、何秀坤 、刘筠 、刘兵 、李翔 。
目录
1标准状态
- 发布于2015-05-15
- 执行于2016-01-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 31470-2015
- 发布日期
- 2015-05-15
- 实施日期
- 2016-01-01
- 中国标准分类号
- N26
- 国际标准分类号
- 17.220.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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