硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
国家标准《硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 。
主要起草人 何友琴 、马农农 、丁丽 。
目录
1标准状态
- 发布于2009-10-30
- 执行于2010-06-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 24575-2009
- 发布日期
- 2009-10-30
- 实施日期
- 2010-06-01
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法- GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
- GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法
- SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
- SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
- GB/T 25186-2010 表面化学分析 二次离子质谱 - 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子
- GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
- 20173544-T-469 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
- GB/T 27765-2011 SiO2、TiO2、Fe3O4及Al2O3纳米颗粒生物效应的透射电子显微镜检测方法
- GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
