表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法
Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon
国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 。
主要起草人 马农农 、陈潇 、何友琴 、王东雪 。
目录
1标准状态
- 发布于2016-02-24
- 执行于2017-01-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 32495-2016
- 发布日期
- 2016-02-24
- 实施日期
- 2017-01-01
- 中国标准分类号
- G04
- 国际标准分类号
- 71.040.40
- 归口单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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