光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
国家标准《光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、中国电子技术标准化研究院 、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心 、天津市环欧半导体材料技术有限公司 。
主要起草人 马农农 、何友琴 、王东雪 、何秀坤 、冯亚彬 、裴会川等 。
目录
1标准状态
- 发布于2013-11-12
- 执行于2014-04-15
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 29852-2013
- 发布日期
- 2013-11-12
- 实施日期
- 2014-04-15
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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