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氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

Test method for measuring magnesium content in gallium nitride materials by secondary ion mass spectrometry

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所

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