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光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法

Test method for measuring Boron and Aulminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

国家标准 推荐性 现行

国家标准《光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心中国电子技术标准化研究院国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心天津市环欧半导体材料技术有限公司

主要起草人 何友琴马农农王东雪何秀坤裴会川冯亚彬等

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