电子工业用气体 六氟化硫
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中核红华特种气体股份有限公司 。
目录
1标准状态
- 发布于2002-10-15
- 执行于2003-04-01
- 废止于2015-07-01
2基础信息
- 标准号
- GB/T 18867-2002
- 发布日期
- 2002-10-15
- 实施日期
- 2003-04-01
- 废止日期
- 2015-07-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
中核红华特种气体股份有限公司