电子工业用气体 四氟化硅
Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride
国家标准《电子工业用气体 四氟化硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 核工业理化工程研究院华核新技术开发公司 、佛山市华特气体有限公司 、绿菱电子材料（天津）有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、贵州大学 、西南化工研究设计院有限公司 。
主要起草人 邓建平 、李于教 、傅铸红 、汤有伦 、崔学文 、方华等 。
目录
1标准状态
- 发布于2014-12-22
- 执行于2015-07-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 31058-2014
- 发布日期
- 2014-12-22
- 实施日期
- 2015-07-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
核工业理化工程研究院华核新技术开发公司