电子工业用气体 六氟化硫
Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride
国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 黎明化工研究设计院有限责任公司 、成都科美特氟业塑胶有限公司 、青海信禾高精化工有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、四川众力氟业有限责任公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、四川中测标物科技有限公司 、上海仪盟电子科技有限公司 。
主要起草人 黄晓磊 、牛学坤 、赖明贵 、傅涛 、刘长庆 、任清贵等 。
目录
1标准状态
- 发布于2014-12-22
- 执行于2015-07-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 18867-2014
- 发布日期
- 2014-12-22
- 实施日期
- 2015-07-01
- 全部代替标准
- GB/T 18867-2002
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
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黎明化工研究设计院有限责任公司
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青海信禾高精化工有限公司
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四川众力氟业有限责任公司
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大连大特气体有限公司
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上海仪盟电子科技有限公司
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成都科美特氟业塑胶有限公司
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佛山市华特气体有限公司
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上海华爱色谱分析技术有限公司
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四川中测标物科技有限公司
