电子工业用气体六氟乙烷

Gas for electronic industry—Hexafluoroethane

国家标准推荐性现行

国家标准《电子工业用气体六氟乙烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、天津长芦华信化工股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司。

主要起草人史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、邓建平、李健、周鹏云。

史婉君廖恒易方正潘义王鸿陈熔李健周鹏云杜汉盛白占旗牛艳东方华林宇巍邓建平