Gases for electronic industry - Boron trifluoride
国家标准《电子工业用气体 三氟化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 核工业理化工程研究院 、大连光明化工研究院 、西南化工研究设计院 。
主要起草人 邓建平 、倪志强 、孙福楠 、周鹏云 。
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