氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法

Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates——Raman spectrum method

国家标准计划制订推荐性

国家标准计划《氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。

主要起草人郑树楠、张育民、石林、邱永鑫、王建峰、徐科、付雪涛、杨素心、丁晓民、陆敏、杨建。