Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
国家标准《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 协鑫光电科技控股有限公司 、中国科学院上海光机所 、浙江昀丰新能源科技有限公司 。
主要起草人 魏明德 、黄朝晖 、刘逸枫 、杭寅 、徐永亮 。
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