蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
Test methods for warp of sapphire substrates
国家标准《蓝宝石衬底片翘曲度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 、中国科学院上海光学精密机械研究所 、北京合能阳光新能源技术有限公司 。
主要起草人 薛抗美 、魏明德 、黄修康 、杭寅 、林清香 、肖宗杰 。
目录
1标准状态
- 发布于2014-12-31
- 执行于2015-09-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 31352-2014
- 发布日期
- 2014-12-31
- 实施日期
- 2015-09-01
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.99
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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