蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 天通控股股份有限公司 。
主要起草人 康森 、宋岩岩 、邵峰 、沈瞿欢 、於震杰 。
目录
1标准状态
- 发布于2017-10-14
- 执行于2018-05-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 34504-2017
- 发布日期
- 2017-10-14
- 实施日期
- 2018-05-01
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
天通控股股份有限公司