Test method for dislocation density of sapphire single crystal
国家标准《蓝宝石单晶位错密度测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 、中国科学院上海光学精密机械研究所 、深圳市中安测标准技术有限公司 。
主要起草人 薛抗美 、黄修康 、杭寅 、尹继刚 、田野 、张永波 、张毅 。
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GB/T 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法
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