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电子工业用气体 氯化氢

Gases for electronic industry—Hydrogen chloride

国家标准 推荐性 现行

国家标准《电子工业用气体 氯化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京华宇同方化工科技开发有限公司西南化工研究设计院有限公司佛山市华特气体有限公司光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海仪盟科技有限公司

主要起草人 张吉瑞孙福楠杜汉盛方华周鹏云杨任

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