Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
国家标准《电子工业用气体 氯化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 北京华宇同方化工科技开发有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、光明化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、上海仪盟科技有限公司 。
主要起草人 张吉瑞 、孙福楠 、杜汉盛 、方华 、周鹏云 、杨任 。