电子工业用气体 三氯化硼
Gases for electronic industry - Boron trichloride
国家标准《电子工业用气体 三氯化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 西南化工研究设计院 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、光明化工研究设计院 。
主要起草人 孙福楠 、方华 、庄鸿涛 、周鹏云 。
目录
1标准状态
- 发布于2011-01-14
- 执行于2011-05-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 17874-2010
- 发布日期
- 2011-01-14
- 实施日期
- 2011-05-01
- 全部代替标准
- GB/T 17874-1999
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
西南化工研究设计院