Gas for electronic industry - Phosphine
国家标准《电子工业用气体 磷化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国计量科学研究院 、西南化工研究设计院 、大连光明化工研究院 。
主要起草人 周泽义 、孙福楠 、周鹏云 。
关注微信公众号