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硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

国家标准 推荐性 现行

国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司 、中国计量科学研究院 、洛阳单晶硅有限责任公司等 。

主要起草人 曹孜 、孙燕 、黄黎 、高英等 。

目录

1标准状态

  • 发布于2011-01-10
  • 执行于2011-10-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 26068-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

曹孜 孙燕 黄黎 高英

5相近标准（计划）

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