光掩模对准标记规范
Specification for registration marks for photomasks
国家标准《光掩模对准标记规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国科学院微电子中心 。
目录
1标准状态
- 发布于1996-09-09
- 执行于1997-05-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 16524-1996
- 发布日期
- 1996-09-09
- 实施日期
- 1997-05-01
- 中国标准分类号
- L95
- 国际标准分类号
- 31.200
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
中国科学院微电子中心