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光掩模石英玻璃基板

Silica glass substrates for photomask

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《光掩模石英玻璃基板》由TC447(全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国建筑材料联合会。

主要起草单位 中国建材检验认证集团股份有限公司中建材衢州金格兰石英有限公司长沙韶光铬版有限公司中国建筑材料科学研究总院国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心

主要起草人 吴洁王京侠王友军李弋舟花宁刘焕敏肖颂华聂兰舰张浩运杨晓会杨学东孔敏张应语

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