光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
行业标准《光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 、中国电子节能技术协会 、中国电子科技集团公司第五十四研究所 。
主要起草人 张倩 、石少青 、辛士卓等 。
目录
1标准状态
- 发布于2016-06-01
- 执行于2016-01-15
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- SJ/T 31080-2016
- 发布日期
- 2016-01-15
- 实施日期
- 2016-06-01
- 全部代替标准
- SJ/T 31080-1994
- 中国标准分类号
- L01
- 国际标准分类号
- 31.550
- 归口单位
- 中国电子技术标准化研究院
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
3备案信息
备案号：54914-2016。
备案公告： 2016年第7号 。
4起草单位
5起草人
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