掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 峨嵋半导体材料研究所 。
1标准状态
- 发布于1992-02-19
- 执行于1992-10-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 13389-1992
- 发布日期
- 1992-02-19
- 实施日期
- 1992-10-01
- 中国标准分类号
- H21
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
峨嵋半导体材料研究所