硅单晶抛光片
Monocrystalline silicon polished wafers
国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 北京有色金属研究总院 。
目录
1标准状态
- 发布于2003-06-16
- 执行于2004-01-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 12964-2003
- 发布日期
- 2003-06-16
- 实施日期
- 2004-01-01
- 全部代替标准
- GB/T 12964-1996
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
北京有色金属研究总院