硅单晶腐蚀片
行业标准《硅单晶腐蚀片》，主管部门为工业和信息化部。
目录
1标准状态
- 发布于2017-01-01
- 执行于2016-07-11
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- YS/T 1167-2016
- 发布日期
- 2016-07-11
- 实施日期
- 2017-01-01
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
3备案信息
备案号：55814-2016。
备案公告： 2016年第11号 。
行业标准《硅单晶腐蚀片》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：55814-2016。
备案公告： 2016年第11号 。
GB/T 12962-2015 硅单晶