Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon
国家标准《硅单晶电阻率测定方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 。
主要起草人 李静 、何秀坤 、张继荣 、段曙光 。
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