1标准状态

• 发布于1996-11-01
• 执行于1996-07-22
• 废止于

2基础信息

3备案信息

4相近标准（计划）

• GB/T 15909-2017  电子工业用气体 硅烷
• GB/T 33774-2017  电子工业用气体 丙烯
• GB/T 34091-2017  电子工业用气体 六氟乙烷
• GB/T 34085-2017  电子工业用气体 三氟甲烷
• GB/T 18994-2014  电子工业用气体 高纯氯
• GB/T 31986-2015  电子工业用气体 八氟丙烷
• GB/T 31987-2015  电子工业用气体 锗烷
• GB/T 26249-2010  电子工业用气体 硒化氢
• GB/T 21287-2007  电子工业用气体 三氟化氮
• GB/T 17874-2010  电子工业用气体 三氯化硼