Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中天道成(苏州)洁净技术有限公司 、深圳市吉隆洁净技术有限公司 、苏州安泰空气技术有限公司 、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司 、苏州净化工程安装有限公司 、中国电子工程设计院 、中电投工程研究检测评定中心 、中国电子学会洁净技术分会 、深圳市亿天净化技术有限公司 、北京世源希达工程技术公司 、中国工程物理研究院八所 、深圳新科特种装饰工程公司 。
主要起草人 姜皓遐 、殷晓冬 、王大千 、黄吉辉 、金真 、袁晓东 、蒋乃军 、王尧 、张利群 、夏群艳 、苏钢民 、吴晓媛 、石小雷 、邴绍同 。
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-9:2012。
采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级。