Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary
国家标准《洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇》由424-cas(中国标准化协会)归口上报及执行,主管部门为国家质量监督检验检疫总局。
主要起草单位 苏州市洁净室科技促进中心 、中国电子学会洁净技术分会 、深圳市标准化研究院等 。
主要起草人 王尧 、陈刚 、缪德骅 、涂有 、乐细明等 。
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