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洁净室及相关受控环境 第12部分:按纳米尺度粒子浓度划分的空气洁净度等级

cleanrooms and associated controlled environments part 12:classification of air cleanliness by nnoscale particle concentration

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第12部分:按纳米尺度粒子浓度划分的空气洁净度等级》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 江苏苏净科技有限公司中国电子工程设计院等

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