确定晶片坐标系规范
Specification for establishing a wafer coordinate system
国家标准计划《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 有色金属技术经济研究院 、有研半导体材料有限公司 。
目录
1项目进度
- 网上公示
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20162491-T-469
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 24个月
- 下达日期
- 2016-12-28
- 全部代替标准
- GB/T 16596-1996
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
有色金属技术经济研究院