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用原子力显微镜测定纳米薄膜厚度的方法

Standard Test Method for Determination of Nano Coatings Thickness by Atomic Force Microscopy

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《用原子力显微镜测定纳米薄膜厚度的方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海交通大学微纳科学技术研究院纳米技术及应用国家工程研究中心

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