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利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using si (111) monatomic steps

国家标准 推荐性 现行

国家标准《利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

主要起草单位 国家纳米科学中心

主要起草人 朱晓阳杨延莲贺蒙高洁

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