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原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

国家标准 推荐性 现行

国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海交通大学 、纳米技术及应用国家工程研究中心 。

主要起草人 李慧琴 、梁齐 、路庆华 、何丹农 、张冰 。

目录

1标准状态

  • 发布于2014-09-30
  • 执行于2015-04-15
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 31227-2014
发布日期
2014-09-30
实施日期
2015-04-15
中国标准分类号
J04
国际标准分类号
17.040.20
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位
全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门
中国科学院

3起草单位

4起草人

李慧琴 梁齐 张冰 路庆华 何丹农

5相近标准（计划）

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