Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal
国家标准《半导体单晶晶向测定方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。
主要起草人 杨旭 、何兰英 。
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