电子工业用气体 氮
Gases for electronic industry--Nitrogen
国家标准《电子工业用气体 氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 化学工业部西南化工研究院 。
目录
1标准状态
- 发布于1997-08-13
- 执行于1998-05-01
- 废止于2010-05-01
2基础信息
- 标准号
- GB/T 16944-1997
- 发布日期
- 1997-08-13
- 实施日期
- 1998-05-01
- 废止日期
- 2010-05-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
化学工业部西南化工研究院