硅抛光片表面颗粒测试方法
Test method of particles on silicon wafer surfaces
国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 北京有色金属研究总院 。
目录
1标准状态
- 发布于2005-09-19
- 执行于2006-04-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 19921-2005
- 发布日期
- 2005-09-19
- 实施日期
- 2006-04-01
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 归口单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国有色金属工业协会
北京有色金属研究总院