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用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程

Practice for evaluation of granular polysilicon by melter-zoner and spectroscopies

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 江苏中能硅业科技发展有限公司新特能源股份有限公司天津市环欧半导体材料技术有限公司青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司洛阳中硅高科技有限公司

主要起草人 王桃霞刘晓霞耿全荣鲁文锋柳德发胡伟邱艳梅银波由佰玲秦榕严大洲

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