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用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy

国家标准 推荐性 现行

国家标准《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 四川新光硅业科技有限责任公司乐山乐电天威硅业科技有限责任公司天威四川硅业有限责任公司

主要起草人 梁洪刘畅陈自强张新蓝志张华端等

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